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高精度離軸非球面鏡加工案例
以下以口徑320mmx110mm離軸拋物面為例，
通過我們的有效口徑內(nèi) Luphoscan 檢測精度達到 PV=0.169 λ ,RMS=0.016 λ；干涉儀自準直檢測達到 PV=0.21 λ ,
RMS=0.016 λ 粗糙度Rq=0.31nm ，光潔度優(yōu)于 10/5以下以口徑320mmx110mm離軸拋物面為例，
通過我們的有效口徑內(nèi) Luphoscan 檢測精度達到 PV=0.169 λ ,RMS=0.016 λ；干涉儀自準直檢測達到 PV=0.21 λ ,
RMS=0.016 λ 粗糙度Rq=0.31nm ，光潔度優(yōu)于 10/5
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